1.技術(shù)參數(shù)

?采樣分析周期：20s

?振頻范圍：小于600cpm（10Hz）

?結(jié)晶器振動(dòng)最大可測峰峰值：20mm

?主振位移測量精度：±0.05mm

?偏振位移測量精度：±0.05mm

?同步性測量精度：0.001s

?振頻測量精度：1cpm（0.02Hz）

?檢測通道數(shù)：2

2.軟件功能

?有效檢測結(jié)晶器豎直方向振動(dòng)的幅度與振頻

?有效檢測結(jié)晶器水平方向偏振幅度

?有效檢測非正弦的振動(dòng)波形及偏斜率

?有效檢測板坯不同測點(diǎn)的振動(dòng)同步性

?圖形顯示振動(dòng)加速度、速度與位移波形

?圖形顯示振動(dòng)頻譜，可觀察結(jié)晶器振動(dòng)中其他干擾源頻率

?圖形顯示X-Y位移軌跡圖，可直觀分析結(jié)晶器偏振及同步性

?可保存檢測數(shù)據(jù)并回放歷史數(shù)據(jù)